주사전자 현미경-SEM Scanning Electron Microscope에 대해서

주사전자 현미경-SEM Scanning Electron Microscope에 대해서

주사전자 현미경-SEM [Scanning Electron Microscope]에 대해서.hwp

본문 SEM은 주사전자 현미경으로서 고체 상태의 미세조직과 형상을 관찰하는데 매우 유용하게 사용되는 분석기기 중 하나이다. 기존의 광학현미경의 최대 확대배율은 1,500배이다. 이 값이상은 해상능(Resolution)이라고 하는 렌즈(빛)의 성질에 의해 제한을 받는다. 분해능 (Resolution)은 illumination system의 파장, 대안렌즈나 대물렌즈의 numerical aperture(NA)에 의해 결정된다. 이러한 관계는 Abbe에 의하여 수학적으로 R = 0.61 λ /NA로서 표시되었다. 따라서 1.4의 numerical aperture를 가진 대물렌즈를 사용하면 가시광선( λ avg = 550nm)을 사용하는 광학현미경의 경우에는 0.2 ㎛이다. 즉 광학현미경으로는 두 점 사이가 0.2㎛보다 가까운 거리는 구별할 수 없다는 이야기가 된다. 하고 싶은 말 열심히 작성하고 좋은 평을 받은 자료 입니다. 감사합니다. 키워드 현미경, 렌즈, 광학, 현미, 광학현미경